膜厚測試儀又名膜厚測試儀，分為手持式和臺式二種，手持式又有磁感應鍍層測厚儀，電渦流鍍層測厚儀，熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應原理時，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。

　　膜厚測試儀在使用時，擺放在物件的上方，從儀器當中發射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會在膜的表面形成一個反射，另一部分則會透過儀器的薄膜，在薄膜與物件之間的界面開成反射，這個時候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同時反射的光會造成干涉的現象。儀器便是利用了這樣的一種現象，從而測量出物件的厚度。厚度的測量看似簡單，實測上所利用的光反射原理，卻是需要經過一系列的設計才能達到如此理想狀態。如此光學膜厚測量儀的使用，便也有著其它傳統測厚儀所沒有的優點。

　　膜厚測試儀的使用注意事項：

　　1.零點校準

　　在每次使用膜厚儀之前需要進行光學校準，因為之前的測量參數會影響該次對物體的測量，零點校準可以消除前次測量有參數的影響，能夠降低測量的結果的誤差，使測量結果更加精確。

　　2.基體厚度不宜過薄

　　在使用膜厚測試儀對物體進行測量時基體不宜過薄，否則會極大程度的影響儀器的測量精度，造成數據結果不準確，影響測量過程的正常進行。

　　3.物體表面粗糙程度

　　對于被測物體的表面不宜太過粗糙，因為粗糙的表面容易引起光的衍射，降低了光學測量儀的測量精度，造成很大的誤差。所以被測物體的表面應該盡量保持光滑，以保證測量結果的精確性。